要点速览
气路中的死体积和残留空气会让纯度恢复变慢，更换滤芯或检修后充分吹扫是必要步骤，不能省。
换完滤芯、修完管路，发生器重新启动，纯度却迟迟回不到之前的水平。这种情况在现场很常见，多数不是设备坏了，而是气路里的残留还没被置换干净。
死体积是什么
气路中那些气体流动缓慢、不容易被完全置换的管段、接头空腔和过滤器壳体内部空间，统称为死体积。检修时空气会进入这些位置，重新通气后，残留气体需要一定时间才能被冲洗出来。
为什么纯度恢复要等
开机后氮气先把主管路填满，再逐步置换死体积中的残留。死体积越大、流量越小，置换所需时间就越长。如果这时急着接仪器，测到的其实是混合气，纯度自然偏低。
吹扫怎么做更合理
检修后先在末端放空一段时间，让气体连续流过全部管段，再取样确认纯度与露点达标后才接入仪器。具体放空时长取决于管路长度与流量，以实测结果为准，不要凭感觉定。
设计阶段就要考虑
新建气路时尽量缩短不必要的管路、减少弯头和三通，能降低死体积。管路越简洁，检修后恢复越快，长期运行中受残留影响也越小。
常见问题
问：吹扫多久算够
答：没有统一数值，应以末端实测纯度与露点达到要求为准。条件允许时在多个用气点分别取样确认。
问：长期不用后重启也要吹扫吗
答：需要。长期停机期间管路内会积累残留，重启后应先放空置换，确认指标正常再接仪器。